理想的なノズル配置で抜群の面精度を実現 ファイン化技術による高い面精度。自動建浴・液管理システムにより品質向上とコストダウンを両立。高密度化による、より高精度なライン、スペースを実現。
理想的なノズル配置で抜群の面精度を実現
抜群の面精度で、小径穴も確実に洗浄
板厚50μmのワークを安定して搬送可能
板厚50μｍのワークを安定して搬送可能
最適なノズル配置とオシュレーションで高精度な現像を実現
高精度エッチング装置
剥離装置
高精度現像-エッチング-剥離ライン 自動建浴、液管理システム付
