装置寸法（L×W×H）    ：    15362 × 3000 × 1400 mm
基板サイズ（有効幅）    ：    600mm
処理液    ：    硫酸-過水系
搬送速度    ：    0.06～6m/min
パスライン    ：   
操作方式    ：