装置寸法（L×W×H）    ：    8490 × 3400 × 1300 mm
基板サイズ（有効幅）    ：    610mm
処理液    ：    水酸化ナトリウム水溶液
搬送速度    ：    0.4～3.5m/min
パスライン    ：   
操作方式    ：