自動建浴・液管理システムにより品質向上とコストダウンを両立。
高密度化による、より高精度なL/Sを実現。
薄板搬送対応可能。
ドライフィルム、ソルダーレジスト液状レジストの現像
装置寸法（L×W×H） ： 6300 × 1475 × 1200 mm
基板サイズ（有効幅） ： 610mm
処理液 ： 炭酸ナトリウム
搬送速度 ： 0.06～6m/min
パスライン ：
操作方式 ：
※薬液により、装置材質が異なります。
※その他特殊仕様に対してもお気軽にご相談ください。
