PCB製造装置

理想的なノズル配置で抜群の面精度を実現 ファイン化技術による高い面精度 自動建浴・液管理システムにより品質向上とコストダウンを両立 高密度化による、より高精度なライン、スペースを実現

●前処理工程

• 黒化代替水平処理装置
• 銅表面粗化処理装置
• ソフトエッチ小径穴洗浄ライン
• エッチダウン装置

●フォトライン

• 現像装置
• エッチング装置
• 剥離装置
• DESライン

●その他

• 洗浄装置（超音波、2流体等）

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タッチパネル製造装置

フィルムやガラスのタッチパネルを製造する装置で、ITOを始め各種金属の現像、エッチング、剥離をする装置です。

●フィルムタッチパネル製造装置

• DEESライン
• DESライン

●ガラスタッチパネル製造装置

• DESライン

●その他

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FPD製造装置

フラットパネルディスプレイのフォトライン及びその前後のウェット装置を取り揃えています。

●前処理工程

• 薄板ガラス洗浄装置
• 超高圧洗浄装置
• 超音波洗浄装置
• ブラシ洗浄装置
• 2流体洗浄装置

●フォトライン

• ガラス基板現像装置
• ITOエッチングライン（DESライン）
• アルミエッチング→アミン剥離装置
• 各種金属エッチングライン

●その他

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研究開発用

小型現像装置は基板上に塗布したレジストを露光後に、現像するための装置のことで、基板を回転させながら基板の上側から、往復運動するノズルから現像液を噴射し現像液による現像、純水による洗浄、スピン乾燥がプラグラム制御により自動で実施することが可能です。
剥離装置とはTFT工程において、エッチング工程でのマスクの役割を終えたフォトレジストを薬液などを使用し剥離するための装置です。

●EDシリーズ

• 経済的な簡易タイプ｜小型現像/エッチング/剥離装置

●SPシリーズ

• 水平揺動一括圧調タイプ｜小型現像/エッチング/剥離装置

●HPシリーズ

• 水平揺動独立圧調タイプ｜小型現像/エッチング/剥離装置

●FBシリーズ

• 薄板、小ワーク対応タイプ｜小型薄板用現像/エッチング/剥離装置

●MPシリーズ

• 首振り揺動独立圧調タイプ｜小型超高精度現像/エッチング/剥離

●TSシリーズ

• 超小型簡易タイプ｜超小型現像/エッチング/剥離試験装置

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