ファイン化技術による高い面精度
自動建浴・液管理システムにより品質向上とコストダウンを両立
高密度化による、より高精度なライン、スペースを実現
銅箔厚み半減化（微細パターン形成用）
装置寸法（L×W×H） ： 7936×3975×1350mm
基板サイズ（有効幅） ： 610mm
処理液 ： 各薬液メーカー対応
搬送速度 ： 0.06～6m/min
パスライン ：
操作方式 ：
※薬液により、装置材質が異なります。
※その他特殊仕様に対してもお気軽にご相談ください。
