装置寸法（L×W×H）    ：    13625 × 4050 × 1350 mm
基板サイズ（有効幅）    ：    500mm
処理液    ：    各薬液メーカー対応
搬送速度    ：    1～4m/min
パスライン    ：   
操作方式    ：