装置寸法（L×W×H）    ：    7386 × 1870 × 1450mm
基板サイズ（有効幅）    ：    600mm
処理液    ：    塩酸-硝酸系
搬送速度    ：    0.5～4m/min
パスライン    ：   
操作方式    ：