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装置寸法(L×W×H) : 5835 × 1870 × 1450mm基板サイズ(有効幅) : 600mm処理液 : KOH搬送速度 : 0.5~3.7m/minパスライン : 操作方式 :
※薬液により、装置材質が異なります。※その他特殊仕様に対してもお気軽にご相談ください。
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