装置寸法（L×W×H）    ：    2870 × 1600 × 1300mm
基板サイズ（有効幅）    ：    730mm
処理液    ：    中性洗剤、純水、アルカリ等
搬送速度    ：    0.5～1.1m/min
パスライン    ：   
操作方式    ：