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装置寸法(L×W×H) : 3860 × 1800 × 1400mm基板サイズ(有効幅) : 400mm処理液 : 純水搬送速度 : 0.2~1.5m/minパスライン : 操作方式 :
※薬液により、装置材質が異なります※その他特殊仕様に対してもお気軽にご相談ください。
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