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通过自动建浴和液体管理系统，可在提高品质的同时、降低成本。通过高密度化设计，实现高精度的L/S制作。可对应薄板的传送。
设备尺寸（L×W×H）：基板大小（有效宽幅）：可使用的药液：传送速度：PASSLINE： 操作方式：
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