通过理想的喷嘴排列组合技术,实现高面精度。采用精细化技术实现高水准面精度 通过自动建浴设计和液体管理系统,实现提高品质、降低成本的目标。依靠高密度化,实现高精度的精细线和线间距的制作。
使用最合理的喷嘴排列来实现高的面精度
拥有卓越的面精度,小孔径必然也能清洗干净
可稳定传送板厚50μm的制品
能够稳定传送板厚50μm的制品
最合适的喷嘴排列设计与摇摆系统的配合,实现高精度的显影
可进行高精度蚀刻处理的设备
可进行去膜处理的设备
显影-蚀刻-去膜工程一体化的高精度生产线。 配备先进的自动建浴系统和液体管理系统