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可对应薄板的传送。通过设有的膜渣收集机构，对喷淋去膜时产生的膜渣的微小碎片进行处理。
用于除去使用氢氧化钠水溶液或胺系药液进行蚀刻后的膜渣
设备尺寸（L×W×H）：8490×3400×1300mm基板大小（有效宽幅）：610mm可使用的药液：氢氧化钠水溶液传送速度：0.4～3.5m/minPASSLINE：操作方式：
※根据实际使用的药液，设备的选材会有所不同。※如对设备式样有其他的特殊要求，可以联系我们。
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