利用直进性很高的液刀进行细小孔径的洗净作业。
用高精度的风刀，确保细小孔径内部的干燥。
板厚为50μm的基板也可传送。
铜表面的脱脂
除去铜表面的酸化皮膜
细小孔径的洗净作业
设备尺寸（L×W×H） ： 15362 × 3000 × 1400 mm
基板大小（有效宽幅） ： 600mm
处理液 ： 硫酸-双氧水
输送速度 ： 0.06～6m/min
PASSLINE：
操作方式 ：
※根据实际使用的药液，设备的选材会有所不同。
※如对设备式样有其他的特殊要求，可以联系我们。
