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最合适的喷嘴排列设计与摇摆系统的配合,实现高精度的显影。也可对应超大型基板。
玻璃基板的显影处理
设备尺寸(L×W×H):5835×1870×1450mm基板大小(有效宽幅):600mm可使用的药液:KOH传送速度:0.5~3.7m/minPASSLINE:
※根据实际使用的药液,设备的选材会有所不同。※如对设备式样有其他的特殊要求,可以联系我们。
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