製品情報詳細
PRODUCT DETAILS
ファイン化技術による高い面精度
自動建浴・液管理システムにより品質向上とコストダウンを両立
高密度化による、より高精度なライン、スペースを実現
銅箔厚み半減化(微細パターン形成用)
装置寸法(L×W×H) | : | 7936×3975×1350mm |
基板サイズ(有効幅) | : | 610mm |
処理液 | : | 各薬液メーカー対応 |
搬送速度 | : | 0.06~6m/min | パスライン | : | 操作方式 | : |
※薬液により、装置材質が異なります。
※その他特殊仕様に対してもお気軽にご相談ください。