PRODUCT DETAILS
製品情報詳細
「二宮システム」の製品詳細
PRODUCT DETAILS
エッチダウン装置
理想的なノズル配置で抜群の面精度を実現
ファイン化技術による高い面精度
自動建浴・液管理システムにより品質向上とコストダウンを両立
高密度化による、より高精度なライン、スペースを実現
用途
銅箔厚み半減化（微細パターン形成用）
仕様例
| 装置寸法（L×W×H） | ： | 7936×3975×1350mm |
| 基板サイズ（有効幅） | ： | 610mm |
| 処理液 | ： | 各薬液メーカー対応 |
| 搬送速度 | ： | 0.06～6m/min | パスライン | ： | 操作方式 | ： |
ライン構成例
※薬液により、装置材質が異なります。
※その他特殊仕様に対してもお気軽にご相談ください。