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「二宮システム」製品詳細

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エッチダウン装置
理想的なノズル配置で抜群の面精度を実現
エッチダウン装置

ファイン化技術による高い面精度

自動建浴・液管理システムにより品質向上とコストダウンを両立

高密度化による、より高精度なライン、スペースを実現

用途

銅箔厚み半減化(微細パターン形成用)

仕様例

装置寸法(L×W×H) 7936×3975×1350mm
基板サイズ(有効幅) 610mm
処理液 各薬液メーカー対応
搬送速度 0.06~6m/min
パスライン
操作方式

ライン構成例

エッチダウン装置 ライン構成例

※薬液により、装置材質が異なります。
※その他特殊仕様に対してもお気軽にご相談ください。