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「二宮システム」製品詳細

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現像装置
最適なノズル配置とオシュレーションで高精度な現像を実現
現像装置

自動建浴・液管理システムにより品質向上とコストダウンを両立。
高密度化による、より高精度なL/Sを実現
薄板搬送対応可能

用途

ドライフィルム、ソルダーレジスト液状レジストの現像

仕様例

装置寸法(L×W×H) 6300 × 1475 × 1200 mm
基板サイズ(有効幅) 610mm
処理液 炭酸ナトリウム
搬送速度 0.06~6m/min
パスライン
操作方式

ライン構成例

現像装置 ライン構成例

※薬液により、装置材質が異なります。
※その他特殊仕様に対してもお気軽にご相談ください。