製品情報詳細
PRODUCT DETAILS
Max. 22.5MPaの超高圧マイクロジェットにより非接触で高い洗浄効果を実現します。
超大型基板にも対応。
独自のエアーナイフ機構により液切の難しい太陽電池ガラスの厚板にも対応。
受入洗浄、塗布前洗浄、出荷洗浄、カレット洗浄、液晶(カラーフィルター、タッチパネル系)、PDP、太陽電池、自動車ガラス等のガラス基板の洗浄
装置寸法(L×W×H) | : | 3860 × 1800 × 1400mm |
基板サイズ(有効幅) | : | 400mm |
処理液 | : | 純水 |
搬送速度 | : | 0.2~1.5m/min | パスライン | : | 操作方式 | : |
※薬液により、装置材質が異なります
※その他特殊仕様に対してもお気軽にご相談ください。