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「二宮システム」製品詳細

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アルミエッチング→アミン剥離装置
高精度エッチングシステムによりファインピッチが可能
アルミエッチング→アミン剥離装置

超大型基板にも対応。

用途

ガラス基板上のアルミ膜をエッチングしアミン系剥離液でフォトレジストを剥離

仕様例

装置寸法(L×W×H) 12356 × 2200 × 1500mm
基板サイズ(有効幅) 420mm
処理液 エッチング:リン酸-硝酸-酢酸
剥離:アミン系
搬送速度 0.5~5m/min
パスライン
操作方式

ライン構成例

アルミエッチング→アミン剥離装置 ライン構成例

※薬液により、装置材質が異なります。
※その他特殊仕様に対してもお気軽にご相談ください。