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「二宮システム」製品詳細

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ITOエッチング装置
高精度エッチングシステムによりファインピッチが可能
ITOエッチング装置

本体は塩ビボディーで高い耐食性を確保。
超大型基板にも対応。

用途

・ガラス基板上のITO膜をエッチング
・各種エッチング液に対応
(塩化第二鉄ー塩酸、塩酸ー硝酸、シュウ酸)

仕様例

装置寸法(L×W×H) 7386 × 1870 × 1450mm
基板サイズ(有効幅) 600mm
処理液 塩酸-硝酸系
搬送速度 0.5~4m/min
パスライン
操作方式

ライン構成例

ITOエッチング装置 ライン構成例

※薬液により、装置材質が異なります。
※その他特殊仕様に対してもお気軽にご相談ください。