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フォトライン（枚葉式）
「二宮システム」
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DESライン
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フォトライン（枚葉式）
ガラス基板現像装置
ITOエッチング装置
PDP用剥離装置
アルミエッチング→アミン剥離装置
その他
研究開発用
EDシリーズ
経済的な簡易タイプ｜小型現像/エッチング/剥離装置
SPシリーズ
水平揺動一括圧調タイプ｜小型現像/エッチング/剥離装置
HPシリーズ
水平揺動独立圧調タイプ｜小型現像/エッチング/剥離装置
FBシリーズ
薄板、小ワーク対応タイプ｜小型薄板用現像/エッチング/剥離装置
MPシリーズ
首振り揺動独立圧調タイプ｜小型超高精度現像/エッチング/剥離
TSシリーズ
超小型簡易タイプ｜超小型現像/エッチング/剥離試験装置
フォトライン（枚葉式）
ガラス基板現像装置
最適なノズル配置により高精度な現像を実現
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ITOエッチング装置
高精度エッチングシステムによりファインピッチが可能
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PDP用剥離装置
大型基板の安定搬送を確立
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アルミエッチング→アミン剥離装置
高精度エッチングシステムによりファインピッチが可能
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